赫爾納供應德國focus蒸發器EFM 3s

赫爾納供應德國focus蒸發器EFM 3s

赫爾納供應德國focus蒸發器EFM 3s

赫爾納貿易優勢供應,德國總部直接采購，近30年進口工業品經驗,原裝產品，為您提供一對一好的解決方案，貨期穩定。

公司簡介：

"聚焦"和"聚焦"電子公司作為公司和擁有者的德國公司正在合作。焦點 位于哈丁斯坦,距離法蘭克福機場僅30分鐘車程。聚焦電子 其設施位于工業化的東德核心之一萊比錫市。

focus蒸發器主要產品：

focus蒸發器

focus離子源

focus蒸發器產品型號：

EFM 3i

EFM 3s

EFM 4

focus蒸發器產品特點：

EFM3在 EFM3的基礎上增加了一個額外的電極。在 EFM 系列的產品中，蒸發束的一部分在加熱過程中被電子轟擊電離。這些離子被通量監測電極捕獲。

focus蒸發器產品應用：

focus蒸發器由于蒸發劑相對于接地樣品處于高電壓下，剩余的離子可能在基體表面產生缺陷并沉積能量。為了產生中性束，在 EFM3s 的抑制電極上施加一個額外的電壓。focus蒸發器附加電壓由 EVC 300或 EVC 100供電。

focus蒸發器EFM3i 是設計來促進層層增長的情況下，它不會自然發生。它允許控制目標材料的蒸發，并同時產生離子，造成額外的表面缺陷(離子束輔助沉積，IBAD)。focus蒸發器這些離子可以通過蒸發靶材的固有過程產生，也可以通過集成氣體入口的幫助從惰性氣體中產生。離子通過靜電透鏡聚焦到基片上。focus蒸發器這種聚焦透鏡可以調節目標沉積區域內離子與中性粒子的比例，從而誘導額外的缺陷密度。另外敏感的襯底材料可以通過排斥透鏡電壓來防止離子轟擊(參見 EFM3s)。用的 EVC 300i 電源不支持蒸發過程，還提供額外的透鏡電壓，包括一個樣品電流表。

focus蒸發器EFM4具有與 EFM3相同的特性，但是用于在直徑大約50毫米的襯底上沉積。三個不同的出口孔可以使蒸發面積準確地適應樣品的大小。通過選擇適當的坩堝和電子束功率，可以實現蒸發速率從每分鐘1/10單層到每秒1000多單層不等。focus蒸發器EFM 4適用于達700毫米3的坩堝容量。有效的水冷卻了低背景壓力(通常在10-10毫巴范圍內) ，使在高蒸發溫度下長時間運行。由于大的蒸發面積的目標是運行的 EFM4與 EVC300電源是合適的配置。

focus蒸發器基于 EFM3蒸發器的設計理念，三重蒸發器 EFM3T 具有三個獨立的單元，用于蒸發來自電線、電桿或坩堝的各種材料。focus蒸發器這三個單獨的電池在距離出口孔約93毫米處(距安裝法蘭254毫米)有交叉梁，以蒸發區域的大重疊。每個電池配備有單獨的燈絲和高壓電源，以防止串擾。三個獨立的通量監測器能夠控制化合物的化學計量生長。整體多位置快門使劑量和同時或連續蒸發產生例如格子或多層。focus蒸發器通過可選的快門機動化和 PC 軟件工具 Multi Epitass 完成。沉積區域由三個孔中的一個孔的選擇決定。三個蒸發目標是獨立地安裝在三個25毫米 Z 偏移對準。這一功能允許蒸發棒與多口袋儀器。focus蒸發器目標材料可以很容易地從后方(3xNW16CF)填充。一個電源可以順序地操作所有三個單元。在共同蒸發的情況下，每種材料都需要一個單獨的電源。